IS 40F1是IS 40C1離子源的升級款，包含了束流聚焦功能。其功能也是用于樣品表面濺射清潔。通過調節聚焦能量參數，可以實現濺射范圍大小的調節。
主要參數：
| 安裝法蘭 | DN 40CF (non-rotatable) |
| 能量范圍 | 0.12 keV – 5 keV |
| 電流密度 | > 200 μA/cm2 (for distance 30 mm) |
| 屏蔽罩 | Cu, stainless steel (for reactive gases) |
| 陰極種類 | yttrium oxide coated iridium filament |
| 真空內長度 | min. 143 mm, other on request OD: max. 37 mm |
| FWHM | dependent on ion energy and working distance (e.g. 1.4 mm for distance 60 mm, 3 mm for distance 150 mm) |
| 典型工作距離 | 30 – 250 mm |
| 烘烤溫度 | up to 250°C |
| 工作氣壓 | 10-5 – 10-6 mbar |
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